放寒假，柳腾和三姐、四姐要在户市多待半个月，过小年才赶回竹千坪。

这半个月，柳腾都待在兴庄的腾坤手机CPU生产线和实验室中。

和三姐依叶、四姐依朵、胤平表哥、杨姐姐、杨姐姐副手从龙中科大光电所挖过来37岁副高职称的彭大敏博士，7081所的几位高工，及树墩儿、谭英琼等两百多位镜片生产技工，对已经研制了一年半的初见曙光EUV光源，进行首次测试。

杨姐姐刚出月子就非得上班不可，再让她坐月子会得产后抑郁。

还能怎么办？只得给她上班。柳腾把自己的办公室让出来，没办法只有他的办公室有独立的厨房、卫生间和卧室。

杨姐姐父母每天跟着过来公司帮带小外甥，也方便杨姐姐照顾小表侄。

三姑跟着奶奶回去了，没办法带娃理念和杨姐姐格格不入，待在公寓里闲得慌，干脆回竹千坪算了。

为了这次测试，柳腾作了许多准备工作，比如：对密阵提供的控制系统进行一次重大升级，升级为智能控制系统，消耗了密阵一格电，代价可以接受。

花费重金对无尘车间进行升级，由原来的万级，升到百级。这个百级还是靠菊花国的来干，龙国找遍干无尘车间的公司都干不了，没这个技术和机器设备。

想升最高级一级，菊花国负责接待的副总那轻蔑的表情，柳腾印象深刻，他说：一级不卖给龙国人，给再多钱也不卖，再说你们龙国也用不到一级无尘车间。

柳腾差点把桌上的咖啡糊在，这个比自己还矮的菊花男脸上，心中发狠：我穿越过来就没人敢在自己面前，指着自己说侏儒，你小子是第一个。你小菊花嚣张不了多长时间，老子就是过来专打脸的。

小菊花在CPU生产中光刻胶、蚀刻胶、超纯水、纯镜片、传感器、接触器、双工作台、划片机、减薄机等占尽优势。

老子现在凭穿越两世，加上三个维度的密阵帮助：过来平推你的，任你心比天高，老子也让你命比纸薄。

柳腾经常自诩：躺平摸鱼，得过且过，但对于国仇家恨的菊花国第一次冲动想干一件：把它踩到狗屎里。

在这里把六通的屎说出来，特别带劲。

上世EUV光源使用CO2激光驱动锡靶产生辐射，从而得到极紫外光源。

锡靶材在激光的照射下，产生的等离子体辐射出的极紫外光峰值在13.5nm，在经过多层钼硅介质膜的反射镜时有2%的带宽，并且有70%的高反射率。

这个高反射率就决定输出功率的大小，也就是说在同样功率的极紫外光，输出功率大，那么它的工作效率高，产出就高，反之则低。

柳腾穿越过来开了金手指，也无法短时间内解决反射带宽和反射输出功率问题。

现在只能拿出秘密武器：密阵！对的，凭借的就是密阵。

密阵四年以来，第一次充电满到红色，这次红色就是为了光刻机而留的。就一个问题，密阵直接抽完了电，整整50万度电啊！

光刻机给出的答案是：制造一种新物质，它在元素周期表中，第147号元素：铽。

柳腾看着这个147号铽元素的介绍：它是锡元素经过特殊的反映在特定条件下，产生一种具有锡同样化学性质的记忆金属；

它有三个特殊属性：一是对极紫外光特别敏感，吸收并排除其他光源，只反射纯净的极紫外光；二是不会吸收和损耗极紫外光，不会产生任何碎屑，耐高温和耐腐蚀。三是利于光放大，缩小波长，波长只有1.35nm，没有辐射。

也就是说：通过铽元素就能得到稳定、功率大、向外辐射的极紫外光，极大简化光刻机产生光源问题。

密阵给出的生产铽元素生产的方法，都是基于当前科技水平的；不过缺点是：生产效率低点，生产成本高点，这都可以接受。

在持续不断的重金和人老支持下，奶奶现在新材料的生产科研水平，可以说达到龙国最顶尖的水平之一。

她只用了两个月就把铽元素生产出来，这次下来户市一起托运过来，只生产了三十公斤。

光这三十公斤铽就花费了3个多亿，实验室制备不便宜。大规模工业生产还可以降一半成本，甚至更底。

现在赶时间顾不上了，基础研究真的花钱多、见效慢，难怪急功近利或资本不雄厚的公司不敢玩。

铽元素不是锡的银白色，而是像块煤一样的银黑色，熔点和石英石差不多。

柳腾看胤平表哥用球磨机把它磨到10000目后，用水析法过滤到20000目，用来生产三种镜片：平面透镜、凹面镜和凸透镜，作用是透光、聚光和散光。

在两百多位研磨师傅粗磨，由树墩儿和7081五位高级技师精磨，让四姐、谭英琼和调光师父调焦，在三姐和五位高级技师的装配下；

经过半个月的努力，终于在06年小年那天下午，把光刻机的EUV光源模块组装出来。

杨瑾禾是管理硬件的总师，她细心的再一次检查。无尘洁净恒温21度下，柳腾还能看到，她身穿无尘防静电服的背上出现了汗渍，可见她对这次工作的重视程度。

她呼了一口气，心境平复下来，对柳腾坚定地点了点头。

柳腾叫四姐把早已经准备好的摄像机打开，拍摄这个历史时刻。

用了铽元素的EUV传播只需要在真空下就可以传播，不必再使用浸液，增加生产步骤和难度。EUV模块只有一米五方，外面还有一个大的透明防爆玻璃罩。

不用CO2激光发生器，而是使用氮化镓LED蓝光做发生器。

柳腾在众人目光中，按下启动键。

一道蓝光从顶上照射下来，经过铽元素的凸透镜聚焦在下面的凹透镜上，再经过锆膜、球面反射镜、平面反射镜，经过一道上小狭缝打在光栅上，由光栅衍射在CCD上成像，经过数据处理后，在电脑显示出来。

这台电脑也是密阵控制系统的一部分。

杨瑾禾紧张地盯着电脑显示的数据，手中的笔飞快地在已打好的数据对照图上打钩。

经过半个小时的对照，杨瑾禾再确认一下结果，然后一脸平静地对屏声静气的众人道：“经过比对，光刻机EUV光源完全达到设计要求。”说完已是泪流满面，完全不顾糊了的妆容。

整个实验室爆发出激烈的欢呼声，众人拍手、搂抱相贺。

柳腾看着激动的众人，心情久久不能平静：这是自己穿越过来，改变这个世界跨出最大的一步。

自己实现穿越三问，又进步了一小步。

这就是穿越的目的：我见证，我改变，我穿越，我快乐！

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